Części zamienne do implantacji jonów molibdenowych

Implantacja jonów jest bardzo ważną technologią w nowoczesnej produkcji układów scalonych, która wykorzystuje maszynę do implantacji jonów w celu uzyskania domieszkowania półprzewodników. Wykorzystuje drut wolframowy jako katodę do emisji elektronów w celu bombardowania cząsteczek gazu zawierających określone elementy domieszkowe, wytwarzając zjonizowane określone atomy domieszkowe, które są przyspieszane przez pole elektrostatyczne i uderzają w powierzchnię krzemowej płytki monokrystalicznej, a następnie są implantowane do półprzewodnika w celu zmiany charakterystyki przewodnictwa i ostatecznie utworzenia struktury tranzystora.

Ze względu na stabilne właściwości chemiczne w wysokiej temperaturze, niewielkie odkształcenia termiczne i długą żywotność materiałów wolframowo-molibdenowych, komponenty źródła jonów i materiały eksploatacyjne maszyn do implantacji jonów w przemyśle półprzewodnikowym są w większości wykonane z materiałów wolframowych i molibdenowych. Urządzenia te obejmują rury osłonowe do emitowania katod elektronowych, panele emisyjne, centralne pręty mocujące i płyty druciane w komorze łukowej. Łącznie nazywamy je częściami wolframowymi do implantacji jonów i częściami molibdenowymi do implantacji jonów.

Popularne Tagi: Części zamienne do implantacji mo ion, Chińscy dostawcy części zamiennych do implantacji mo ion, fabryka