Cele rozpylające można podzielić na cele planarne i cele obrotowe w zależności od ich kształtów. Tarcze planarne to cele długie, cele kwadratowe lub cele okrągłe o określonej grubości itp., które są wykonane przez związanie półwyrobu celu i płytki tylnej. Podczas napylania półprodukt tarczy i podłoże są równoległe do siebie, a pomiędzy półproduktem tarczy a podłożem powstaje pole elektromagnetyczne. Cele obrotowe są celami rurowymi, a podczas rozpylania katodowego powstaje pole elektromagnetyczne w kierunku podłoża. Cele planarne są bardziej wszechstronne, ale mają niższy stopień wykorzystania; cele obrotowe mają wyższy stopień wykorzystania, ale słabą jednorodność powłoki.
Zalety celów obrotowych
1. Cele obrotowe charakteryzują się większym wykorzystaniem materiału
Obracające się cele mogą równomiernie zużywać powierzchnię docelową podczas obrotu, poprawiając w ten sposób wykorzystanie materiału celu, które zwykle może osiągnąć 70% -90%. Jednakże, ponieważ tylko jedna nieruchoma strona płaskiej tarczy jest zaangażowana w rozpylanie, podczas użytkowania utworzą się „rowki” lub „wgłębienia”, co spowoduje nierównomierne zużycie materiału, a stopień wykorzystania materiału wynosi zazwyczaj 30–40%. W przypadku kosztownych obiektów (takich jak metale szlachetne lub materiały ziem rzadkich) cele rotacyjne mogą znacząco obniżyć koszty i poprawić korzyści ekonomiczne.
2. Cele obrotowe mają lepszą równomierność rozpylania
Obracające się cele obracają się w sposób ciągły podczas pracy, dzięki czemu każda pozycja na powierzchni celu jest równomiernie wystawiona na działanie plazmy, tworząc bardziej równomierną szybkość rozpylania. Ma to oczywiste zalety w zastosowaniach o wysokich wymaganiach dotyczących jednorodności folii (takich jak wyświetlacze i procesy półprzewodnikowe). Cele planarne są podatne na nierówną grubość warstwy z powodu lokalnego nadmiernego-rozpylania, szczególnie w przypadku-podłoży o dużej powierzchni lub w produkcji ciągłej.
3. Cele obrotowe mają dłuższą żywotność
Ponieważ cele obrotowe zużywają bardziej jednolity materiał, ich żywotność jest zwykle dłuższa niż celów planarnych. Oznacza to, że przy tych samych warunkach pracy częstotliwość wymiany tarczy obrotowej jest mniejsza, co ogranicza przestoje urządzeń i poprawia efektywność produkcji. W przypadku niektórych ciągłych procesów produkcyjnych, takich jak powlekanie-dużych powierzchni i powlekanie z walca-na-rolkę, tarcza obrotowa może znacząco wydłużyć cykl produkcyjny i zmniejszyć koszty konserwacji.
4. Cele obrotowe mają wyższą jakość filmu
Warstwa folii napylana przez obracającą się tarczę jest gęstsza i bardziej jednolita, co jest odpowiednie do niektórych zastosowań o niezwykle wysokich wymaganiach dotyczących jakości folii (takich jak-wysokiej klasy urządzenia elektroniczne i produkcja urządzeń półprzewodnikowych). Dzieje się tak, ponieważ obracający się cel może skutecznie redukować defekty spowodowane nierównomiernym rozpylaniem na powierzchni celu oraz poprawiać jakość i konsystencję warstwy folii.
Wniosek
W porównaniu z tarczami planarnymi, tarcze obrotowe charakteryzują się większym wykorzystaniem materiału, dłuższą żywotnością, bardziej równomiernym efektem rozpylania i możliwością dostosowania do-dużej powierzchni i-produkcji na dużą skalę. To sprawia, że tarcze obrotowe są ważnym wyborem w dziedzinie nowoczesnego osadzania cienkich warstw, szczególnie w przypadku powlekania-wielkopowierzchniowego, produkcji ciągłej i-produkcji wysokiej klasy urządzeń elektronicznych.